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飞秒激光湿法刻蚀微纳制造
飞秒激光微加工作为一种新型微纳制造技术,在复杂三维构型制作方面具有其独特的优势,但激光加工效率问题严重制约了飞秒激光微加工技术走向实际工程应用,提出一种飞秒激光湿法刻蚀微纳制造方法,以提高飞秒激光微加工的效率为突破口,通过调控激光与物质相互作用获得材料的目标靶向改性,进而结合化学湿法刻蚀实现硬质材料上的高效和高精度三维微加工,采用这一方法制作出的微透镜尺寸为80 μm,球冠高6.7 μm,表面粗糙度小于10 nm.利用这种方法,实现了不同结构与特性的高质量微透镜阵列的超精密制备,在石英内部也实现了螺旋微通道的复杂三维结构,螺旋通道直径为20μm,长径比超过100.陈烽,杨青,边浩,杜广庆,柳克银,孟祥卫,邓泽方,山超 - 应用光学文章来源： 万方数据 -
不同离子束参数刻蚀蓝宝石纳米微结构及其光学性能
使用微波回旋共振离子源,研究Ar+离子束在不同角度、不同入射能量下对蓝宝石表面的刻蚀效果及光学性能。结果表明:所用能量800 eV ,1000 eV及1200 eV时透过率都有很大的提升,由原来的50%提高到70%~80%,在能量为1000 eV时增幅最大,能量为1200 eV时增幅最小;在相同能量、不同角度下刻蚀后蓝宝石粗糙度呈先增大后减小的趋势,而在相同角度、不同能量下粗糙度方面无明显规律。刻蚀后表面形貌测试表明:角度不变,能量为1000 eV时出现点状纳米结构,能量为1200 eV时出现柱状纳米结构;能量不变,角度为10°、50°及80°时出现了规律较明显的点状或条状纳米结构,角度为30°时表面较为光滑。王梦皎,陈智利 - 应用光学文章来源： 万方数据
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