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Self-calibration and Compensation of Setting Errors for Surface Profile Measurement of a Microstructured ~o!1 Workpiece

原文链接：万方

• 作者：

  GAO Wei,XU Bin,TAKEISHI Toshiki,SHIMIZU Yuki,ITO So

• 关键词：

  表面轮廓测量 误差补偿方法 周期性微结构 自校准 工件 设置 位移传感器 测量系统

• 作者单位：

  Oepartment of Nanomechanics, Tohoku University, Sendai 9808579, Japan%School of Manufacturing Science and Engineering, Sichuan University, Chengdu 610065, China

• 来源期刊：

  中国机械工程学报:英文版

• 年，卷(期)：

  201427001