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基于集成温度传感器的硅微陀螺仪数字化温度补偿研究

原文链接：万方

• 作者：

  柳小军,杨波,袁安富,赵辉,王行军

• 摘要：

  提出了一种基于集成温度传感器的硅微陀螺仪数字化温度补偿方法.首先,介绍了集成温度传感器的硅微陀螺仪基本结构原理,分析了硅微陀螺仪动力学方程以及温度变化对硅微陀螺仪谐振频率、品质因数、标度因数和零偏的影响.然后,设计了基于FPGA的硅微陀螺仪数字化补偿电路.最后,经过温度特性实验得到标度因数和零偏随温度变化曲线,建立了温度补偿模型,提出分段温度补偿方法.经过温度补偿后,标度因数和零偏的温度系数分别由316.66*10-6/℃和366.22°/(h·℃)减小为69.67*10-6/℃和115.25°/(h·℃),证明了补偿方法的正确性和可行性.

• 关键词：

  硅微陀螺仪 零偏 标度因数 温度补偿 FPGA

• 作者单位：

  南京信息工程大学信息与控制学院%东南大学仪器科学与工程学院%东南大学微惯性仪表与先进导航技术教育部重点实验室%南京理工大学自动化学院

• 基金项目：

  国家自然科学基金项目(61104217,U1230114)

• 来源期刊：

  传感技术学报

• 年，卷(期)：

  2014006