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流体对MEMS矢量水听器共振频率的影响

原文链接：万方

• 作者：

  刘源,陈丽红,张国军,赵鹏,申辉,张文栋

• 摘要：

  由中北大学研制的MEMS仿生矢量水听器具有低频、灵敏度高等性能特点,但是由于流体的影响,水听器微结构在空气中的共振频率与液体中不同,为此研究了流体对MEMS矢量水听器共振频率的影响.首先,理论上分析了流体对共振频率的影响.然后,采用ANSYS对空气中和液体中MEMS矢量水听器的共振频率进行仿真.最后分别采用振动台和矢量水听器校准系统进行了测试.结果表明MEMS矢量水听器在水中的共振频率较空气中下降了约31.2%.

• 关键词：

  矢量水听器 共振频率 ANSYS MEMS 流体

• 作者单位：

  中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室%中北大学电子测试技术重点实验室%北方信息控制技术研究所

• 基金项目：

  国家863计划项目(2013AA09A412)%国家自然科学基金项目(61127008/F040703)

• 来源期刊：

  传感技术学报

• 年，卷(期)：

  2014006