科创中国

基于微梁的面内高g值加速度计设计

原文链接：万方

• 作者：

  李祥,石云波,董胜飞,李策,赵赟

• 摘要：

  提出了一种基于微梁的面内高g值加速度计的设计方案.根据材料力学中悬臂梁的相关理论,建立了微梁检测结构的等效模型,推导出了微梁应力和中间主梁应力的比值的表达式.通过改变结构的尺寸来调节比值,可以设计出更高量程和更高灵敏度的压阻式传感器.利用ANSYS软件对微梁和中间主梁的最大应力及电阻区应力进行了仿真分析,验证了设计方案的可行性.完成了一种量程可达15万gn的面内双轴高g值传感器的设计.

• 关键词：

  面内加速度计 微梁 高灵敏度 高量程 MEMS

• 作者单位：

  中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室%中北大学电子测试技术国防科技重点实验室%中北大学仪器与电子学院

• 基金项目：

  "十二五"总装备部预研项目

• 来源期刊：

  传感技术学报

• 年，卷(期)：

  2014010