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基于MEMS声传感器的圆柱壳体振动陀螺振型检测技术

原文链接：万方

• 作者：

  王剑秋,吴宇列,张勇猛

• 摘要：

  振动陀螺谐振子振型一般采用激光进行非接触式测量,这种方法存在设备成本高、操作复杂、效率低等问题,因此,提出了一种基于MEMS声传感器的圆柱壳体振动陀螺谐振子振型测试方法.该方法利用体积小,指向性高的MEMS声传感器对谐振子振动声场进行高分辨率测量,获得精确的谐振子振动分布情况,建立了谐振子声波测试实验系统,进行了测试实验,并与激光测振仪的测量结果进行比对.实验结果表明,该测试系统具有较高的振型测量精度.这种测试方法成本低,操作简便,测量精度高,可以实现谐振子振型的高精度快速测量,为后续的谐振子修形及陀螺控制提供重要基础.

• 关键词：

  圆柱壳体振动陀螺谐振子 振型测试 MEMS声传感器 高精度快速测量

• 作者单位：

  国防科学技术大学机电工程与自动化学院

• 基金项目：

  国家自然科学基金项目(51275522)

• 来源期刊：

  传感技术学报

• 年，卷(期)：

  2014010