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基于镜像异质三周期光子晶体的陀螺仪研究

原文链接：万方

• 作者：

  彭鹏,温廷敦,许丽萍,汤帅

• 摘要：

  对镜像异质三周期光子晶体的研究理论表明,在实际应用范围内,透射率与光子晶体所受的轴向应力呈简单的线性关系。微机械陀螺仪在工作时会产生Coriolis力,其与整个系统的输入角速度有正比关系。在陀螺仪检测梁的根部,用镜像异质三周期光子晶体作为敏感元件,只需检测出其透射率,即可知道陀螺仪所受Coriolis力的大小,继而求出系统的角速度。 ANSYS软件仿真结果表明,当透射光强改变万分之一时,该结构可以感知6.5 mgn 的Coriolis加速度的变化,测量量程可达55 gn。

• 关键词：

  光子晶体 微机械陀螺 Coriolis力 透射率 电磁驱动 弹光系数 介观压光效应

• 作者单位：

  中北大学理学院,太原030051; 中北大学电子测试技术国家重点实验室,太原030051%中北大学理学院,太原030051; 中北大学微米纳米技术研究中心,太原030051; 中北大学电子测试技术国家重点实验室,太原030051%中北大学理学院,太原,030051

• 基金项目：

  国家自然科学基金项目(60776062,50730009)%国家自然科学基金仪器专项基金项目(61127015)

• 来源期刊：

  传感技术学报

• 年，卷(期)：

  2014001