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基于丁腈橡胶帽封装的MEMS仿生水听器的设计

原文链接：万方

• 作者：

  刘梦然,简泽明,张国军,张文栋

• 摘要：

  针对现有封装结构会对灵敏度造成一定程度的损失,使现有水听器的灵敏度小于水听器芯片裸测灵敏度的问题,改用了透声性能好、耐腐蚀的丁腈橡胶( NBR)制作的透声帽,并对现有的矢量水听器的封装外壳进行相应的优化设计。该封装结构的水听器的共振频率降低到50 Hz以下,水听器所感兴趣的频段(50 Hz~4 kHz)不会受到封装谐振的干扰,拓宽了水听器的工作频段。该封装的灵敏度提高到几乎与裸片的灵敏度一致,达到(-170±2)dB,并优化金属管壳的圆盘的尺寸,即水听器最大径,由36 mm缩小至28 mm,使水听器的封装进一步小型化。

• 关键词：

  MEMS仿生水听器 丁腈橡胶帽封装 频率 灵敏度 小型化

• 作者单位：

  中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室,太原030051; 中北大学电子测试技术重点实验室,太原030051

• 基金项目：

  国家“863”计划项目(2011AA040404)%国家自然科学基金项目(61127008,51205374)%山西省青年科技研究基金项目(2012021013-3)

• 来源期刊：

  传感技术学报

• 年，卷(期)：

  2014001