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MEMS微机械陀螺温度特性分析与建模

原文链接：万方

• 作者：

  陈湾湾,陈智刚,马林,付建平

• 摘要：

  针对MEMS微机械陀螺的零偏随温度变化波动较大的特性,通过建立MEMS陀螺零偏随温度变化之间的误差模型,在温度范围为-20℃~60℃温箱试验下,分析MEMS陀螺的零偏输出变化,经去除野值后使用建立的误差模型对零偏进行补偿,结果表明,MEMS陀螺仪因温度引起的零偏从最大约为160°/h,经补偿后降至约为10°/h。该温度误差模型使MEMS陀螺的全温区零偏特性得到了一定程度的提升,为提高之后的导航精度打下基础,具有一定的工程价值。

• 关键词：

  MEMS陀螺 温度特性 零偏 误差补偿

• 作者单位：

  中北大学地下目标毁伤技术国防重点学科实验室,太原030051; 清华大学精密测试技术及仪器国家重点实验室,北京100084%中北大学地下目标毁伤技术国防重点学科实验室,太原,030051%清华大学精密测试技术及仪器国家重点实验室,北京,100084

• 基金项目：

  总装十二五预研计划项目

• 来源期刊：

  传感技术学报

• 年，卷(期)：

  2014002