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接触式电容微加速度传感器的设计与分析

原文链接：万方

• 作者：

  刘妤,陈松,顾雯雯

• 摘要：

  设计了一种新型接触式电容微加速度传感器。针对传感器结构,建立了考虑接触效应的周边固支圆形膜片在载荷作用下与基底“接触”前后的简化分析模型,并给出了接触半径的计算公式。为接触式传感器的研制奠定了理论基础。

• 关键词：

  MEMS加速度传感器 接触式 电容传感 圆膜片

• 作者单位：

  重庆理工大学机械工程学院,重庆,400054%西南大学工程技术学院,重庆,400044

• 基金项目：

  重庆理工大学启动基金

• 来源期刊：

  传感技术学报

• 年，卷(期)：

  2014002