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纳机电矢量水听器耐压结构设计

原文链接：万方

• 作者：

  赵鹏,张国军,刘源,申辉,刘林仙,张文栋

• 摘要：

  纳机电矢量水听器具有低频性能好,灵敏度高等性能优点,在深海探测领域具有巨大的应用潜力,为满足超深水工作的要求提出了绝缘托盘式新型封装结构,解决了纳机电矢量水听器的耐高静水压技术难题。首先,进行聚氨酯透声帽外围封装承压分析,理论论证聚氨酯基体树脂材料的极限耐静水压强度为42.3 MPa。然后,对MEMS芯片输出电压进行理论计算以及对其进行模态仿真,得出在高达20 MPa的静水压作用下,传感器的输出灵敏度基本无变化,而且工作频带有所拓宽。测试结果表明:改进封装的纳机电矢量水听器在高压20 MPa时,可以实时获得敲击信号;加压前后,该水听器在20 Hz~1000 Hz工作频带内水听器的灵敏度和指向性基本一致。

• 关键词：

  矢量水听器 纳机电 耐压

• 作者单位：

  中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室,太原,030051%中北大学电子测试技术重点实验室,太原,030051%中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室,太原030051; 中北大学电子测试技术重点实验室,太原030051

• 基金项目：

  国家863项目(2013AA09A412)%国家自然科学基金项目(61127008/F040703)

• 来源期刊：

  传感技术学报

• 年，卷(期)：

  2014005