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差分式MEMS面内加速度计设计

原文链接：万方

• 作者：

  董胜飞,石云波,周智君,李策,李祥

• 摘要：

  设计了一种新型差分式大量程MEMS加速度计,实现了面内大过载信号的测试。首先利用MATLAB软件结合理论原理,设计了具体的结构参数,利用ANSYS有限元分析软件验证了结构设计的合理性。将本差分式MEMS面内加速度计结构用于集成三轴传感器,3个敏感质量块可以分别感应3个方向的加速度而不会相互影响,可以有效解决传感器体积大以及轴间交叉干扰的难题。

• 关键词：

  差分式 MEMS 面内加速度计 高量程

• 作者单位：

  中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室,太原030051; 中北大学电子测试技术国防科技重点实验室,太原030051%中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室,太原030051; 中北大学电子测试技术国防科技重点实验室,太原030051; 中北大学仪器与电子学院,太原030051%中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室,太原030051; 中北大学仪器与电子学院,太原030051

• 基金项目：

  国家“十二五”装备预研项目

• 来源期刊：

  传感技术学报

• 年，卷(期)：

  2014007