科创中国

磁导调制型时栅位移传感器测量方法研究

原文链接：万方

• 作者：

  武亮,陈锡候,王阳阳,黄奔

• 摘要：

  时栅位移传感器采用时空坐标转换理论,可在低加工精度条件下实现角位移的高精度测量,现已应用于高精度数控转台控制系统中。原有的场式时栅位移传感器借鉴电机结构,通过转子线圈感应旋转磁场产生电行波,再通过滑环引出。为了消除滑环结构,进一步降低成本、提高传感器抗干扰能力,通过磁导调制方法产生两路驻波并合成电行波,采用两路驻波磁路分离式结构,设计去除转子绕线的磁导调制型时栅位移传感器。利用电磁仿真软件对传感器的各项参数进行仿真优化,传感器仿真电行波幅值变化6.1%;采用光栅进行精度标定实验,测量精度达到-2.7″~+2.2″。

• 关键词：

  角位移检测 时栅传感器 磁导调制 Ansoft 光栅标定

• 作者单位：

  重庆理工大学机械检测技术与装备教育部工程研究中心,重庆,400054

• 基金项目：

  国家自然科学基金仪器科学专项项目(51127001)

• 来源期刊：

  传感技术学报

• 年，卷(期)：

  2014008