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基于声表面波微液滴并行加热研究

原文链接：万方

• 作者：

  章安良,查燕

• 摘要：

  提出了一种并行加热微液滴的方法。在128°旋转Y切割X传播方向的LiNbO3压电基片上采用微电子工艺制作叉指换能器和反射栅,在其声路径上贴合环形聚二甲基硅氧烷( PDMS)微槽,其内充满石蜡油微流体。设计有多个受热区的图案,经过激光切割转移到导热性良好的、厚度为0.3 mm的铜金属传热片上,并放置于PDMS微槽上。射频电信号加到叉指换能器上激发声表面波,辐射入微槽中的石蜡油微流体,并将能量通过传热片传递到受热区,进而加热受热区上的微液滴。以纯净水微液滴为实验对象,进行了多个微液滴并行加热实验。结果表明,在单个叉指换能器上加电信号激发的声表面波可同时加热多个微液滴,且其温度变化值随射频电信号功率增加而增加,同时,微液滴体积和受热区中并行加热的微液滴数影响其温度变化。

• 关键词：

  声表面波 微液滴 叉指换能器 辐射 并行加热

• 作者单位：

  常州工学院电气学院,常州,213002%宁波大学电子工程系,宁波,315211

• 基金项目：

  浙江省科技厅资助项目(2009R50025)%宁波市自然基金资助项目(2011A610108)

• 来源期刊：

  传感技术学报

• 年，卷(期)：

  2014009