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基于PSD的高精度光电定心仪

原文链接：万方

• 作者：

  张欣婷,安志勇

• 摘要：

  针对目前定心仪精度不高、并依赖于人眼的现状,提出一种基于PSD的高精度定心仪研究方法.采用自准直光路形式和位置敏感探测器PSD对经过被测目标返回的光斑实行定位,并通过读取计算机上的坐标值来判断是否达到准确的定心.文中对定心仪的光学系统进行设计,并运用神经网络的训练来校正PSD的非线性,在测量范围±2 mm~±500 mm内定心精度达到1μm的设计要求.

• 关键词：

  光学设计 定心仪 高精度 PSD 非线性

• 作者单位：

  长春理工大学光电工程学院,吉林长春130022;长春理工大学光电信息学院,吉林长春130012%长春理工大学光电工程学院,吉林长春,130022

• 基金项目：

  国家973重点基础研究发展规划资助项目(2009CB72400603B)%中国科学院航空光学成像与测量重点实验室开放课题(Y2HC1SR123)

• 来源期刊：

  应用光学

• 年，卷(期)：

  201435001