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辐照激光能量对SiO2薄膜特性及结构的影响

原文链接：万方

• 作者：

  郭芳,徐均琪,苏俊宏,党少坤,基玛·格拉索夫

• 摘要：

  为了认识SiO2薄膜在激光辐照下的变化,本文以K9玻璃为基底,采用电子束热蒸发方法制备了SiO2薄膜,并将此组在相同实验条件下制备的薄膜加以不同能量的激光辐照,研究在激光辐照前后样片的透射率、折射率、消光系数、膜厚、表面形貌及激光损伤阈值(LIDT)的变化.结果表明,样片膜厚随激光能量的增加而减小,辐照激光能改善薄膜表面形貌,并使样片LIDT值提高,最终能使样片的LIDT值从16.96 J/cm2提高至18.8 J/cm2.

• 关键词：

  SiO2薄膜 辐照激光 激光损伤阈值(LIDT) 影响

• 作者单位：

  西安工业大学陕西省薄膜技术与光学检测重点实验室,陕西西安,710021%白俄罗斯国立信息与无线电电子大学,白俄罗斯明斯克 鲍里索夫,220013

• 基金项目：

  国家国际科技合作专项(2013DFR70620)%国家自然科学基金(61378050)

• 来源期刊：

  应用光学

• 年，卷(期)：

  201435002