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亚10 μm线宽的投影光刻物镜设计及其成像性能的实验测定

原文链接：万方

• 作者：

  雷亮,李浪林,袁炜,刘新,周金运

• 摘要：

  采用Zemax软件设计出6镜片、数值孔径为0.06、2倍缩小、以405 nm半导体激光器为光源、分辨精度达5μm、视场12 mm×12 mm内波像差小于1/4波长、畸变小于0.005%的双远心投影光刻物镜的设计方法.将设计的物镜实物化,并对其光学传递函数(MTF)作精确的实验测定,利用所提出的MTF标准实验测量法,得到该投影物镜的成像性能达亚10μm线宽.

• 关键词：

  光刻 投影物镜 光学传递函数 MTF

• 作者单位：

  广东工业大学物理与光电工程学院,广东广州,510006%郑州铁路职业技术学院,河南郑州,450052

• 基金项目：

  国家自然科学基金(61107029,60977029)%广东省创新实验项目(HSZJ2011089)

• 来源期刊：

  应用光学

• 年，卷(期)：

  201435002