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激光量热法测量K9基片的表面吸收和体吸收

原文链接：万方

• 作者：

  刘浩,潘峰,陈松林,王震,马平,欧阳升,卫耀伟

• 摘要：

  表面抛光可能给K9基片带来额外的杂质和吸收,分离K9基片的表面吸收率与体吸收率有助于改进基片的加工质量和抛光工艺,对抗损伤能力研究具有重要意义.分析了激光量热法测量弱吸收的原理,采用符合ISO 11551要求的激光量热计测量K9基片的弱吸收.对相同工艺抛光的不同厚度K9基片进行了弱吸收表征,实验发现K9基片的弱吸收随着厚度增加近似线性增大.推导了表面吸收率和体吸收率的计算式,实验得出本样品的表面吸收率为1.21×10-5,体吸收率远大于表面吸收率,体吸收系数为1.72×10-3/cm.实验结果显示所用K9样品的吸收主要来自于材料本身,改善抛光工艺对降低其吸收率作用不大.

• 关键词：

  激光量热 弱吸收 表面吸收 体吸收 K9基片

• 作者单位：

  成都精密光学工程研究中心,四川成都,610041

• 来源期刊：

  应用光学

• 年，卷(期)：

  201435002