一种监控膜厚的新算法

原文链接:万方

  • 作者:

    弥谦,赵磊

  • 摘要:

    光学薄膜的光学特性与其每一膜层的厚度密切相关,为了制备出符合要求的光学薄膜产品,在制备过程中必须监控膜厚.光学薄膜实时监控精度决定了所镀制的光学薄膜的厚度精度.针对光电极值法极值点附近监控精度低、无法精确监控非规整膜系的缺陷,提出了新的光学薄膜膜厚监控算法.该算法通过数学运算,使得光学薄膜的光学厚度与透射率呈线性关系,并且有效地消除光源波动、传输噪声等共模干扰的影响,算法精度可控制在2%以内.

  • 关键词:

    光学薄膜 膜厚监控 非规整膜系

  • 作者单位:

    西安工业大学,陕西西安,710032

  • 来源期刊:

    应用光学

  • 年,卷(期):

    201435002

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