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基于 SOI 工艺的扭转式微机械扫描光栅设计及制作

原文链接：万方

• 作者：

  靳倩

• 摘要：

  为实现微型光谱仪在工程领域的广泛应用,研究了其核心器件---扭转式微机械扫描光栅的结构与制作方法。利用SOI工艺,设计一种无需启动电极的静电梳齿驱动结构,可以使扭转式微机械扫描光栅具有低频驱动、制作工艺简单、扫描范围广等优点。通过设计的制作工艺方法,研制出了能够初步满足性能要求的扭转式微机械扫描光栅样件。测试结果表明:该微扫描光栅在驱动电压为25 V时最大转角可达到±4.8°,对应的光学扫描角为19.2°。

• 关键词：

  微扫描光栅 SOI工艺 衍射光谱 扫描角度

• 作者单位：

  中国空空导弹研究院,河南洛阳,471000

• 来源期刊：

  应用光学

• 年，卷(期)：

  2014004