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二次非球面镜检测中基于波前等高线图的调整方法

原文链接：万方

• 作者：

  晁格平,杨朋利,杨子建,付晓庆,王艳维

• 摘要：

  为了提高非球面光学元件的检测精度及效率,缩短调整环节的时间,分析了非球面干涉检测过程中被检非球面镜的调整误差对检测结果波前信息的影响,提出利用波前等高线图走势准确判断调整方向的调整方法。建立调整方向与被检镜失调量之间的关系,并利用光学设计软件Zemax仿真模拟检测光路,结合二次非球面镜的光学公差分析判断调整量的大小。基于该调整方法,利用Zygo激光干涉仪对口径为50 mm的双曲面进行检测,最终检测结果是RMS为0.014λ,实验表明该方法简单、可行。

• 关键词：

  光学检测 波前等高线 调整误差 二次非球面

• 作者单位：

  西安应用光学研究所,陕西西安,710065

• 来源期刊：

  应用光学

• 年，卷(期)：

  2014004