科创中国

基于外差干涉的微振动测量技术研究

原文链接：万方

• 作者：

  刘丹,郑宾,郭华玲,刘辉,刘乃强

• 摘要：

  针对外差干涉的微振动测量存在稳定性低、严重受环境噪声影响等缺点,提出了对光路的改进方案。根据差分原理将其改为双光路,消除环境噪声的干扰;通过偏振分光棱镜(PBS)将椭圆偏振光变为线偏光,提高干涉信号幅值;改进频移装置(AOM),抑制频率漂移;增加光阑,滤除杂散光,提高系统信噪比。通过探测5kHz压电陶瓷振动信号,以及2.5MHz高频激光超声信号进行实验验证,结果表明:信号稳定且无纹波,系统分辨率为2.3nm,信噪比提高16.7倍。两路干涉信号幅值分别为552mV和736mV,较传统外差干涉信号幅值提高近10倍,有利于纳米量级微振动信号的检测。

• 关键词：

  微振动测量 外差干涉 激光超声 线偏振光

• 作者单位：

  中北大学信息与通信工程学院,山西太原,030051%中北大学信息与通信工程学院,山西太原030051; 中北大学电子测试技术重点实验室,山西太原030051

• 来源期刊：

  应用光学

• 年，卷(期)：

  2014005