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飞秒激光微加工中轴向超分辨相位板的设计及仿真

原文链接：万方

• 作者：

  蔡建文

• 摘要：

  为了提高激光微加工质量,对激光焦斑进行整形,采用菲涅尔衍射公式进行了理论分析,基于遗传算法和设计约束条件通过M atlab设计了两种二元相位元件,0-π结构四环相位板的归一化半径尺寸 r1=0.15、r2=0.70、r3=0.81,非0-π结构四环相位板的归一化半径尺寸为r1=0.25、r2=0.498、r3=0.652,从内到外各环对应的相位为2.879、3.087、0、3.012,采用这两种位相板调制后的纵向光斑大小可压缩至艾丽斑的76%和75%,峰值能量比分别为0.39和0.42,旁瓣能量分别为0.64和0.41,这两种相位板均可应用于飞秒激光微加工。

• 关键词：

  微加工 轴向超分辨 相位板 飞秒激光 优化算法

• 作者单位：

  常州工学院光电工程学院,常州213002; 常州现代光电技术研究院,常州213002; 常州市光电子材料与器件重点实验室,常州213002

• 基金项目：

  常州现代光电技术研究院开放课题(CZGY008)

• 来源期刊：

  应用光学

• 年，卷(期)：

  2014005