科创中国

衍射光学元件车削补偿技术的研究

原文链接：万方

• 作者：

  张峰,汪志斌,张云龙,郭小刚,苏瑛,郭芮

• 摘要：

  超精密单点金刚石车削加工是高精度衍射光学元件制造的重要方法,但是以往的加工方法是直接一次车削加工成型,无法实现具有加工‐检测‐补偿加工‐检测的闭环控制特点的超精密加工,从而导致零件精度较低。针对这种加工技术的缺陷,通过研究衍射光学元件金刚石车削过程和面形状误差补偿,对表面轮廓仪实际测量的轮廓数据进行处理,计算出实际车削曲线与理想曲线之间的法向残余误差,以此获得新的金刚石车削加工轨迹,实现衍射光学元件的超精密闭环控制加工。利用单点金刚石车床对口径78的衍射光学元件进行补偿加工试验,最终使其PV值由10.4μm经过一次补偿加工后降为4.3μm。

• 关键词：

  衍射光学元件 金刚石车削 误差补偿 法向残余误差

• 作者单位：

  西安应用光学研究所,陕西西安,710065

• 基金项目：

  国防基础科研计划资助项目(A0920110019)

• 来源期刊：

  应用光学

• 年，卷(期)：

  2014006