科创中国

表面粗糙度数字全息检测

原文链接：万方

• 作者：

  陈刚,周文静,胡祯,周清,彭克琴,张伟

• 摘要：

  鉴于数字全息表面粗糙度测量是对被记录的数字全息图进行数值重建获得相应的相位值,将其映射为表面轮廓值后来计算表面粗糙度参数的,分别以标准分辨率板和高度标定板为检测样本,对构建的数字全息测量系统进行了重建误差及重复性测试,包括横向尺寸误差及高度误差,横向尺寸重建误差及重复误差分别为1.11%和0.61%,高度重建误差及重复误差分别为11%和1.8%。以宽带介质膜平面反射镜为样本,测得其3段评定长度(包含15个取样长度)的表面粗糙度平均值分别为0.01037μm、0.01033μm和0.00967μm。

• 关键词：

  无损检测 数字全息 表面粗糙度

• 作者单位：

  上海市质量监督检验技术研究院,上海,200072%上海大学精密机械工程系,上海,200072

• 基金项目：

  国家自然科学基金资助项目(61107004)；国家质检总局科技计划项目(2013Qk143)

• 来源期刊：

  应用光学

• 年，卷(期)：

  2014006