碳纳米涂层材料的二次电子发射系数及工艺研究

原文链接:万方

  • 作者:

    杨晶,崔万照,贺永宁

  • 摘要:

    采用电泳沉积制备薄膜的方法,在铝合金镀银片上均匀的涂覆纳米碳涂层,研究了不同的电泳电压及电泳时间对涂层形貌结构的影响.扫描电子显微镜(SEM)、二次电子发射系数(SEY)测试结果表明,保持阴阳极间距为1 cm,在30 V的直流电压下电泳15 min所获得的样片涂层均匀、连续、致密且具有明显的陷阱结构.实验表明,其SEY最大值σmax达到2.03,对应的入射能量为500 eV,E1能量点在60 eV.使用Ar离子轰击清洗表面10 min后,样片的SEY最大值σmax达到1.76,对应的入射能量Emax为400 eV,E1能重点在80 eV.

  • 关键词:

    纳米碳涂层 电泳沉积 薄膜 二次电子发射 SEY

  • 作者单位:

    中国空间技术研究院西安分院%西安交通大学

  • 基金项目:

    国家重点实验室基金(9140C5304011003)

  • 来源期刊:

    现代电子技术

  • 年,卷(期):

    2012020

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