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基于核特征近邻指标的批过程监视及仿真研究

原文链接：万方

• 作者：

  郭小萍,袁杰,李元

• 摘要：

  批次生产过程为了不断满足快速增长的市场需求,经常进行生产装置的重组、负荷大小的调整以及品种的更换等,使批次过程的采样数据呈现出非线性、非高斯、多工况等复杂特征.针对这些特征,提出在批次过程的核特征空间利用核主元的k个近邻构建故障检测统计量指标进行过程监视的方法.将批次过程正常工况的数据按批次方向展开并进行标准化.采用核方法将其投影到核特征空间,确定出核主元,组成新的建模样本数据.通过相似性原理找到每个样本的k个近邻,构建k近邻的距离平方和故障检测指标,并采用核密度估计法确定出正常工况指标的统计控制限.利用SPE统计量对核残差空间同时进行监视.通过一个半导体生产过程的仿真实验结果表明了所提方法的有效性.

• 关键词：

  核特征空间 过程监视 k近邻 批次过程 仿真实验

• 作者单位：

  沈阳化工大学信息工程学院

• 基金项目：

  国家自然科学基金重点项目(61034006),国家自然科学基金面上项目(60774070,61174119)%辽宁省教育厅科学研究一般项目(L2013155)%辽宁省博士启动基金项目(20131089)

• 来源期刊：

  系统仿真学报

• 年，卷(期)：

  2014007