科创中国

有晶圆滞留时间约束的集束型装备调度问题研究

原文链接：万方

• 作者：

  卢睿,李林瑛

• 摘要：

  考虑有滞留时间约束的集束型装备调度模型和可调度性问题,建立了包括双臂机械手和加工模块时序约束关系的线性规划模型.在此模型基础上,分析了装备双臂机械手和加工模块周期性加工和搬运晶圆过程,从理论上证明了集束型装备可调度性的充要条件,并提出通过减少并行模块数目、选择合适的加工时间和滞留时间的控制策略,使不可调度方案变的可调度.对模型和可调度性条件进行了仿真实验和工程软件实现,证明了提出的模型和控制策略有助于减少测试晶圆数目,从而提高晶圆生产效率.

• 关键词：

  半导体制造 集束型装备 双臂机械手 可调度性分析 线性规划模型

• 作者单位：

  辽宁警官高等专科学校公安信息系%大连外国语大学软件学院

• 基金项目：

  辽宁省高等学校优秀人才支持计划(LJQ2011132)%辽宁省教育厅科学研究一般项目(L2014141)

• 来源期刊：

  系统仿真学报

• 年，卷(期)：

  2014008