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  • 亚10 μm线宽的投影光刻物镜设计及其成像性能的实验测定

    采用Zemax软件设计出6镜片、数值孔径为0.06、2倍缩小、以405 nm半导体激光器为光源、分辨精度达5μm、视场12 mm×12 mm内波像差小于1/4波长、畸变小于0.005%的双远心投影光刻物镜的设计方法.将设计的物镜实物化,并对其光学传递函数(MTF)作精确的实验测定,利用所提出的MTF标准实验测量法,得到该投影物镜的成像性能达亚10μm线宽.
    雷亮,李浪林,袁炜,刘新,周金运 - 应用光学
    文章来源: 万方数据
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