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基于PSD的高精度光电定心仪
针对目前定心仪精度不高、并依赖于人眼的现状,提出一种基于PSD的高精度定心仪研究方法.采用自准直光路形式和位置敏感探测器PSD对经过被测目标返回的光斑实行定位,并通过读取计算机上的坐标值来判断是否达到准确的定心.文中对定心仪的光学系统进行设计,并运用神经网络的训练来校正PSD的非线性,在测量范围±2 mm~±500 mm内定心精度达到1μm的设计要求.张欣婷,安志勇 - 应用光学文章来源： 万方数据 -
PSD微位移测量系统的设计与验证
以提高PSD输出微弱电流信号的稳定性和精度为目的,讨论了PSD驱动、运放电路的设计。主要考虑因素包括:两级精密运放选择,电源滤波模块设计,PCB设计中数模抗干扰,电源和地的处理,抗环境光干扰,PSD及其运放电路集成化,以及适应不同漫反射性质的被测物体的多路放大倍数设计等。最后,区别于传统的测量方案,采用一种基于标定测量的方法。通过音叉振动波形和定点距离测量实验,验证了PSD微位移测量系统的稳定性和精度都较好,测量范围20 mm,位移测量相对精度达到1.01%。
以提高PSD输出微弱电流信号的稳定性和精度为目的,讨论了PSD驱动、运放电路的设计。主要考虑因素包括:两级精密运放选择,电源滤波模块设计,PCB设计中数模抗干扰,电源和地的处理,抗环境光干扰,PSD及其运放电路集成化,以及适应不同漫反射性质的被测物体的多路放大倍数设计等。最后,区别于传统的测量方案,采用一种基于标定测量的方法。通过音叉振动波形和定点距离测量实验,验证了PSD微位移测量系统的稳定性和精度都较好,测量范围20 mm,位移测量相对精度达到1.01%。汪涛,唐清清,刘江,汪雨寒 - 传感技术学报文章来源： 万方数据 -
自准直仪光学系统设计
设计一种能同时进行两维测量的、智能化的数显式自准直仪,该光学仪器可用来进行小角度测量。系统设计波长为670 nm ,为了达到1 m的焦距,同时也缩小系统的体积,自准直仪采用折返式结构。系统中使用位置敏感探测器(PSD )作为接收器,仪器的指标满足设计要求:测量范围为±6′,精度为0.1″。通过Zemax仿真对自准直仪主光路进行设计及优化,出射为平行光束,由足迹图观测被测面接收到的光分布均匀,能够满足实际生产中的需要。周丹,向阳,高健 - 应用光学文章来源： 万方数据
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