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MEMS圆盘谐振器形变对电气刚度影响分析
电气刚度是影响MEMS谐振器谐振频率精度的因素之一。但是对于谐振器受到应力时,产生的形变量对电气刚度的影响的理论研究报道甚少。鉴于此,本文对电容式盘结构谐振器受径向静电力和纵向惯性力下的形变量以及电气刚度的改变量进行了系统的理论分析。研究结果表明,当圆盘与电极间隙为50 nm,且电压达到50 V时,圆盘由于静电力产生的径向形变量可达间隙的2.05%,电气刚度改变6.15%。当圆盘半径为100μm,且受到10000 gn 的纵向惯性力时,其最大形变量可以达到圆盘厚度的2.4%,电气刚度改变2.4%。本文分析结果对其他盘结构谐振器的分析亦有重要借鉴意义。董林玺,俞权,包金艳,陶家平 - 传感技术学报文章来源： 万方数据 -
基于双频谐振器的小型化双频滤波器设计
本文提出一种设计小型化、低损耗、双通带的带通滤波器的新方法,主要利用双频谐振器能够同时工作于两个频段的特点,通过合理设计使谐振器间的耦合结构和馈电点位置在两个频段上具有相同的结构参数,从而实现小型化双频滤波器.为验证该方法的可行性,设计了一种基于阶跃阻抗谐振器(SIR)结构的双频滤波器.该滤波器工作频率为2.4 GHz和5.2 GHz,回波损耗都低于-20 dB,插入损耗小于1 dB,相对带宽FBW均为20%,尺寸为6 mm*15 mm(0.08λg1*0.19λg1).对该滤波器进行了仿真、加工和测试,发现测量和仿真的结果具有很好的一致性.梁学亮,张亚男,马润波,韩丽萍 - 测试技术学报文章来源： 万方数据 -
I2形MEMS谐振器的电阻差分检测方法
为克服I2形MEMS谐振器输入端(热执行)与输出端(压阻敏感)直接耦合所造成的输出信号品质较差的缺点,设计并制作了一种电阻差分检测电路。该电路通过外接电阻的方法,产生与输出信号中耦合成分幅值相同、相位相反的差分信号。将差分信号与谐振器输出信号相组合,从而实现解耦的目的。实验结果表明,电阻差分检测可有效消除了输出信号中的耦合成分,使频谱响应曲线得到更直观的体现。与其他消除耦合信号的技术方案相比(混频检测电路、惰性谐振器等),电阻差分检测法电路设计简单,无需改动器件的加工工艺,有利于满足未来器件小型化要求。熊壮,唐彬 - 传感技术学报文章来源： 万方数据 -
基于MEMS声传感器的圆柱壳体振动陀螺振型检测技术
振动陀螺谐振子振型一般采用激光进行非接触式测量,这种方法存在设备成本高、操作复杂、效率低等问题,因此,提出了一种基于MEMS声传感器的圆柱壳体振动陀螺谐振子振型测试方法.该方法利用体积小,指向性高的MEMS声传感器对谐振子振动声场进行高分辨率测量,获得精确的谐振子振动分布情况,建立了谐振子声波测试实验系统,进行了测试实验,并与激光测振仪的测量结果进行比对.实验结果表明,该测试系统具有较高的振型测量精度.这种测试方法成本低,操作简便,测量精度高,可以实现谐振子振型的高精度快速测量,为后续的谐振子修形及陀螺控制提供重要基础.王剑秋,吴宇列,张勇猛 - 传感技术学报文章来源： 万方数据 -
微逆变器系统的DC/DC变换器的研究
微逆变器系统中的DC/DC功率变换具有输入电压低且电压范围宽、输入电流大以及输出电压高的特点.因此微逆变器系统要求DC/DC变换器具有高升压比、高效率和宽输入范围适应性的特点.LLC谐振变换器很好地符合这些要求.为此,研究了应用于微逆变器系统的数字控制的升压型LLC谐振变换器,提出了基于最佳励磁电感的LLC谐振变换器谐振腔参数设计方法,采用TMS320F28335DSP芯片实现了LLC谐振变换器的数字控制,详细地给出了软件系统的实现方法.最后制作了一台300W样机,额定输入电压下满载效率为96.6%,最高效率达96.8%,全输入电压范围内满载效率在96%以上.肖文英,廖代文 - 电源技术文章来源： 万方数据 -
流体对MEMS矢量水听器共振频率的影响
由中北大学研制的MEMS仿生矢量水听器具有低频、灵敏度高等性能特点,但是由于流体的影响,水听器微结构在空气中的共振频率与液体中不同,为此研究了流体对MEMS矢量水听器共振频率的影响.首先,理论上分析了流体对共振频率的影响.然后,采用ANSYS对空气中和液体中MEMS矢量水听器的共振频率进行仿真.最后分别采用振动台和矢量水听器校准系统进行了测试.结果表明MEMS矢量水听器在水中的共振频率较空气中下降了约31.2%.刘源,陈丽红,张国军,赵鹏,申辉,张文栋 - 传感技术学报文章来源： 万方数据 -
空投变压器对电网恢复初期系统影响的仿真研究
电力系统恢复初期大部分线路、变压器没有投入运行,在网架逐步恢复过程中需要频繁的投入线路和变压器,以往的文献中对系统恢复初期空载线路的投入进行了大量仿真分析,但很少涉及空载变压器投入对恢复初期系统影响的仿真分析.本文对电力系统恢复初期空载大容量变压器投入问题进行了仿真研究,以实际系统为基础搭建了两机带负荷运行的电力系统模型,通过仿真分析表明投入空载大容量变压器可能对初期系统产生不利影响,并给出了降低空载变压器投入对系统影响的措施.梁海平,顾雪平 - 华北电力大学学报(自然科学版)文章来源： 万方数据 -
管道内检测器声定位技术研究
根据当前对管道检测系统的需求,基于声学原理的管道地面标记技术已成为现今研究的热点与难点。创新地提出将一种高灵敏度、高信噪比的MEMS仿生声矢量传感器应用于管道内检测器的地面标记中。首先介绍了管道内检测器在管道中的发声机理和声音信号特征。由于声波的吸收系数与频率的平方成正比,所以在低频时,声波衰减小,传播更完整。针对单个声矢量传感器,经过仿真分析,单声矢量传感器具有良好的定向能力。最后,进行现场实验,绘制出定向角度表,验证了MEMS声矢量传感器应用于管道内检测器地面标记的可行性。刘梦然,张国军,简泽明,刘宏,张文栋 - 传感技术学报文章来源： 万方数据 -
基于MEMS传感器的水汽测量系统
提出一种基于MEMS技术的电容式传感器,结合ARM Cortex-M3嵌入式处理器搭建电容式水汽测量系统的测控系统,以实现大气环境中的高精度湿度测量.为提高测量精度和分辨率,利用24 bitΣ-Δ数模转换器测量露点和温度.通过PID控制算法对半导体制冷器进行控制,使贴有MEMS露点传感器和温度传感器的制冷器冷端表面温度降低.当MEMS露点传感器表面温度低于露点时,其表面会产生露珠,引起MEMS电容增大.MEMS露点传感器电容值可以通过24 bitΣ-Δ电容数字转换器测量.通过Goff-Gratch方程和露点湿度转换关系,可计算出到大气湿度.测量结果表明,该系统的露点测量精度可达约±0.2℃.刘清惓,高翔,陈传寅,谢钟镭 - 传感技术学报文章来源： 万方数据 -
接触式电容微加速度传感器的设计与分析
设计了一种新型接触式电容微加速度传感器。针对传感器结构,建立了考虑接触效应的周边固支圆形膜片在载荷作用下与基底“接触”前后的简化分析模型,并给出了接触半径的计算公式。为接触式传感器的研制奠定了理论基础。刘妤,陈松,顾雯雯 - 传感技术学报文章来源： 万方数据
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